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A Global Leader in Engineered Materials and
Optoelectronic Components
 
  CO2-Laseroptiken / Spiegel
Spiegel

Plane- und sphärische Spiegel

Spiegel oder Totalreflektoren kommen als Rückreflektoren und Faltspiegel in Laser-Resonatoren zum Einsatz und extern als Strahl-Umlenker in Strahlführungs-Systemen.

Silikon ist das am meisten genutzte Spiegelsubstrat; seine Vorteile sind geringe Kosten, lange Lebensdauer und thermische Stabilität.

Kupfer wird – durch seine hohe thermische Leitfähigkeit - typischerweise bei Hochleistungs-Anwendungen eingesetzt.

Die extrem robuste Oberfläche macht Molybdän ideal für die anspruchsvollsten physischen Arbeitsumgebungen. Molybdän wird unbeschichtet angeboten.

Specifications
Standards
Dimensional Tolerances Diameter
Thickness
+0.000”-0.005”
+/-0.010”
Parallelism Plano
Radiused, Diameter < 1”
Radiused, Diameter > 1”
<= 3 arc minutes
<= 10 arc minutes
<= 5 arc minutes
Clear Aperture (polished) 90% of diameter
Surface Figure (power/irregularity) at 0.63µm Plano and
Radiused, r > 1 m

Power: 2 fringes
Irregularity: 1 fringe

Scratch-Dig 10-5
Part #
Description
Diameter
(inches)
Diameter
(mm)
Edge
Thickness
(inches)
Edge
Thickness
(mm)
Side 1
Coating
466761
Si
0.5
12.7
0.118
2.99
EG
850800
Si
1.0
25.4
0.120
3.05
ES
690933
Si
1.5
38.1
0.375
9.53
MMR
221987
Si
1.75
44.45
0.375
9.53
EG
408825
Si
2.0
50.8
0.200
5.08
DEMMR
341534
Si
2.0
50.8
0.200
5.08
TRZ
674480
Si
2.0
50.8
0.400
10.16
TRZ
614835
Si
3.0
76.2
0.250
6.35
TRZ
148570
Cu
1.1
37.94
0.236
5.99
EG
370229
Cu
1.969
50.01
0.200
5.08
TRZ
482518
Cu
1.969
50.01
0.354
8.99
EG
832216
Cu
1.969
50.01
0.394
10
TRZ
658306
Cu
2.362
59.99
0.236
5.99
TRZ
137530
Cu
4.0
101.6
0.75
19.05
PS
650010
Cu-WC*
4.25
107.95
1.5
38.1
ES
229095
Mo
4.0
101.6
0.350
8.89
UC
*WC is water-cooled copper
The above parts are plano. For spherical parts, please contact a II-VI sales representative.
Contact a II-VI sales representative for exact specifications.

Off-Axis Parabolspiegel

Aus Kupfer-Substraten hergestellte Spiegel halten extrem hohe Laserleistungen und eine industrielle Umgebung aus und liefern, wenn sie korrekt montiert und ausgerichtet sind, beugungslimitierte Brennpunkte.

Kupferspiegel können mit einer höheren Reflektivität und einer dauerhaften Molybdän-Beschichtung angeboten werden. Dies erlaubt eine einfache Reinigung der Spiegel.

Parabolspiegel sind am besten dazu geeignet den Laserstrahl bei einem Einfallswinkel von 90° (oder einem beliebigen Einfallswinkel) zu reflektieren und zu fokussieren.

Kundenspezifische Besonderheiten, wie z.B. Wasserkühlung und nicht standardisierte Halterungen, werden auf Anfrage berücksichtigt.

 

 



To guarantee performance specification, all mounting surfaces must be properly conditioned, screw torques cannot exceed II-VI recommendations, and the laser source must be aligned to the parabolic axis.

Specifications
Standards
Diameter +0.00/-0.12 mm
Angle of Incidence +3.5 minutes
Working Distance ±0.008”
Clear Aperature 90% of mirror surface
Surface Roughness < 175 A RMS
Scratch-Dig 40-20
Surface Figure 2 Fringes peak to valley @ 632 nm

Part #
Description
Diameter
(mm)
Turning
Angle
Working
Distance
Mount
PM-CU-49.5-90-200-UC*-MM2
Cu
49.5
90º
200
MM2
PM-CU-49.5-90-125-UC*-MM2
Cu
49.5
90º
125
MM2
PM-CU-49.5-90-250-UC*-MM2
Cu
49.5
90º
250
MM2
PM-CU-49.5-90-175-UC*-MM2
Cu
49.5
90º
175
MM2
PM-CU-25-90-125-UC*-MM3
Cu
25
90º
125
MM3
PM-CU-25-90-200-UC*-MM3
Cu
25
90º
200
MM3
*UC is uncoated
Contact a II-VI sales representative for exact specifications.

Zylinderspiegel

Wie der Name schon aussagt, sind Zylinderspiegel entweder rund oder rechteckig mit einer zylindrisch geformten Oberfläche. Sie unterscheiden sich von sphärischen Spiegeln dadurch, dass sie den Strahl auf einen Linie fokussieren und nicht auf einen Punkt.

Die Reflektivität verbessert sich durch Aufbringen einer hoch-reflektierende Beschichtung auf der optischen Oberfläche. Es können mehrere Beschichtungen für unterschiedliche Gebiete des Lichtspektrums aufgebracht werden. Zylindrische Spiegel können aus Cu, Si, Ge, Al und anderen metallischen Materialien gefertigt werden.

Zu den Anwendungen gehören Laserscanner, Laser Dioden Systeme, Spektrophotometer, Projektoren und Systeme zum Speichern und Abrufen von optischen Daten.

 

 

 

 

 

 

Ringspiegel

Bei vielen Anwendungen werden sphärische Spiegel, Zylinderspiegel und Parabolspiegel genutzt um den Laserstrahl zu formen. Bi-konische Spiegel – oder die üblicheren Ringspiegel – können zwei Optiken in sich vereinen.

Bi-konische Spiegel haben zwei unterschiedliche Radien auf einer Oberfläche. Es ist möglich, einen bi-konischen Spiegel mit sphärischen oder asphärischen Kurven herzustellen, dies hängt von der Anwendung und der Notwendigkeit ab Abbildungsfehler zu verhindern. Zum Ausrichten des Laserstrahls können Ringspiegel gewöhnliche 90° Umlenkspiegel ersetzen.

 

 

 

 

 

 

 

Galvo-Spiegel

Scanner-Lasersysteme – ob zum Markieren, Gravieren oder zum Bohren – alle diese Vorgänge sind davon abhängig dass Galvo-Spiegel den Laserstrahl präzise positionieren. II-VI stellt, nach vorgegebenen Spezifikationen, Galvo-Spiegel aus Silizium-Substraten her. Wir passen unsere Dünnschicht-Beschichtungen an diese Substrate an, und produzieren so hoch effiziente Galvo-Spiegel die das Laserlicht im Bereich von 1,0 bis 12,0 µm reflektieren.

Ideal zum Einsatz in Nd:YAG- (1,06µm) und CO2-Laser (9,3 - 10,6 µm), sind die II-VI Galvo-Spiegel passend für einen großen Umfang von industriellen Anwendungen.

Unsere DEMMR-Beschichtung ist die beste Wahl für diese Anwendungen. (Details hierzu finden Sie in den Kurven 1 und 2.)

II-VI Galvo-Spiegel werden typischerweise mit einem Durchmesser von 0,5“ – 4,0“ hergestellt, basierend auf OEM Spezifikationen.

II-VI Galvo-Spiegel bieten:

  • Silizium-Substrate in Spiegelqualität
  • Größere thermische Stabilität als Quarzglas
  • Abmessungen nach OEM Spezifikationen
  • Hochreflektierende Beschichtungen für Nd:YAG Laser, CO2-Laser und CO2 Pilotlaser

Anwendungen umfassen:

  • Lasermarkieren und –gravieren
  • Laserbohren
  • Laserbiegen
  • Rapid Prototyping
  • Bildliche Darstellung und Druck
  • Semiconductor-Bearbeitung (Memory-Repair, Laser Trimming)

 

 

 

 

 

 

Spiegel mit variierbarem Radius (VRM)

Der Spiegel mit variierbarem Radius (VRM) erlaubt es dem Nutzer, die Strahlcharakteristik „zwischendurch“ dynamisch zu verändern. Durch die Kontrolle des Radius mit Wasserdruck kann der Nutzer die Divergenz und den Strahldurchmesser des Lasers regeln.

VRMs erlauben die Einstellung der Strahltiefe während der Materialbearbeitung; dies führt zu optimalen Schneidgeschwindigkeiten. Es ermöglicht außerdem den „Flying Optics“ Nutzern die Brennweite des Strahls während dem Schneidprozess auszugleichen. Dies ist extrem wichtig bei großen Arbeitstischen, wo der Laserstrahl-Durchmesser sich an der Linse ändert wenn sich der optische Weg über die Arbeitsfläche ändert.

Der VRM ist für den Gebrauch bei nahezu normalem Einfallswinkel ausgelegt. Viele Lasersysteme benutzen zwei Spiegel als Teleskop-Optiken. Das Teleskop besteht aus einem konvexen und einem konkaven Spiegel. Wird einer dieser Spiegel durch einen VRM ersetzt so gelten all die o.g. Vorteile.

Druck-Kontrolle
Es gibt zumindest zwei Wege den Druck im VRM und, als Ergebnis hiervon, den Radius der Spiegeloberfläche zu kontrollieren. Die Schlüsselkomponente ist entweder eine Pumpe mit unterschiedlicher Geschwindigkeit oder ein proportional zu kontrollierendes Ventil.

Diese Teile werden durch einen Verstärker gesteuert. Die Eingangsleistung in den Verstärker ist typischerweise eine 0 – 10 Volt Signal.

Kundenspezifische Ausführung
II-VI hat Spezialisten um adaptive Spiegel für jedes Strahlführungssystem zu entwerfen. Mit selbstentwickelten Techniken kann II-VI den VRM präzise formen und vorhersagen wie er sich unter Druck verändert. Die Form des Spiegels wird optimiert um der vom Kunden vorgegebenen Kurve des Druckradius zu entsprechen.

Beispiel des Wasserdruck-Systems
Die Zeichnung unten zeigt ein geschlossenes Schleifensystem das einen Druckumwandler nutzt um den Druck im Spiegelhohlraum zu messen. Dieses Signal wird zum CNC-Regler zurück geschickt.

Specifications
Standards
Substrate: Copper
Standard Mirror Diameter: 57.1 mm, 79.0 mm
Usable Clear Aperture: 35 mm, 50 mm
Radius Range*: 6 MCC - 6 MCX
3 MCC - PO
PO - 3 MCX
1.2 MCX - 1.6 MCX
Pressure Range: 3 to 11 bar
Water Flow Rate: ~1 liter/minute
Angle of Incidence: Near normal
Reflectivity with MMR-A Type Coating: > 99.8%
Pointing Stability: <= 30 arc seconds
*Customized radius range available.
M is meter, CC is concave, CX is convex , PO is plano

Standard Mirror Coatings

Uncoated Metal
Silver Based
Gold Based
Maximum Metal Reflector
Phase Retarding
Polarization Control
 
Al
Cu
Mo
PS
ES
BG
PG
EG
PEG
SEG
MMR
MMR-A
DEMMR
TRZ
λ/4 RPR*
λ/4 HRPR*
ATFR
PLM
PLM-W
%R @ 0º AOI @ 10.6µm
98.3
99.2
98.0
99.1
99.6
99.0
98.8
99.5
99.4
99.6
99.8
99.8
99.8
+
+
+
+
+
+
%R @ 45º AOI S-Pol @ 10.6µm
98.7
99.4
98.8
99.4
99.7
99.4
99.3
99.7
99.6
99.8
99.9
99.8
99.8
+
+
+
>=99.0
>=99.5
>=99.8
%R @ 45º AOI P-Pol @ 10.6µm
97.4
98.9
97.3
98.8
99.2
98.5
98.4
99.2
99.1
99.3
99.7
99.6
99.6
+
+
+
<=1.5
<=90.0
<=97.0
%R @ 45º AOI R-Pol @ 10.6µm
98.3
99.2
98.0
99.1
99.5
99.0
98.8
99.5
99.4
99.6
99.8
99.7
99.7
99.5
98.0
99.0
+
+
+
%R @ 45º AOI R-Pol @ 0.6328µm
~50-90
>90
~40-70
95
~60-95
90
80
~50-90
80
~50-90
40
80
80
80
+
+
80
+
+
Phase Retardation @ 45º AOI
<2º
<2º
<2º
6º-9º
+
<2º
+
+
+
+
<2º
+
+
<2º
90º+/-3º
90º+/-6º
+
+
+
* These products are used at 45º AOI with plane polarized light at 45º to the plane of incidence.
+ These products are not intended for use at these parameters.

   
 
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